Якщо довжина в одному напрямку менша за довжину в двох інших напрямках, ця структура називається тонкою плівкою. У наш час безперервне застосування мікроелектронних плівок, оптичних плівок, плівок проти-окиснення, гігантських магніторезистивних плівок,-високотемпературних надпровідних плівок тощо в промисловому виробництві та житті людини, товщина плівок, вироблених у промисловості, є дуже важливим параметром, безпосередньо пов’язаним із тим, чи може матеріал плівки нормально працювати.
Зазвичай товщина плівки відноситься до відстані між поверхнею підкладки та поверхнею плівки. Насправді поверхня плівки є нерівною та несуцільною, на поверхні є отвори, мікротріщини, нитки волокна, домішки, дефекти решітки та молекули, адсорбовані на поверхні. Наприклад, різні тонкі плівки у процесі виробництва велико-інтегральних схем безпосередньо впливатимуть на продуктивність інтегральних схем завдяки безперервному вдосконаленню ступеня інтеграції схем і будь-яким незначним змінам товщини тонкої плівки. Крім того, механічні властивості, властивості пропускання світла, магнітні властивості, теплопровідність, структура поверхні тощо тонкоплівкових матеріалів тісно пов’язані з товщиною. Тому точне онлайн-вимірювання товщини плівки в процесі виробництва є важливим засобом для забезпечення якості продукції та підвищення ефективності виробництва.
Точне вимірювання товщини плівки залежить від того, який датчик товщини використовується. На даний момент існує в основному кілька методів онлайнової технології визначення товщини плівки:
1. Бета-зонд є першим датчиком, який використовувався для виявлення тонких плівок. Він використовує джерело бета-випромінювання як джерело сигналу, і технологія є зрілою. Однак для використання радіоактивних джерел потрібна ліцензія, а процедури імпорту та експорту відносно складні. Термін служби становить -половину, і точність виявлення зменшуватиметься разом із ослабленням радіоактивного джерела.
2. Для вимірювання товщини плівки в інфрачервоних датчиках використовується принцип, згідно з яким специфічні інфрачервоні смуги сильно поглинаються певними пластиковими плівками. Датчик стабільний у виявленні, на нього не впливають зміни навколишнього середовища, але він чутливий до змін добавок і кольорів, і він не підходить для виробництва кількох продуктів на одній виробничій лінії.
3. Рентгенівський зонд використовує рентгенівську -трубку для генерування рентгенівських-променів як джерело сигналу для визначення товщини пластикової плівки. Є багато переваг: літаючі радіоактивні матеріали; низька енергія не потребує ліцензії; широкий діапазон вимірювань; висока точність вимірювання; всі види пластмас можна вимірювати без впливу добавок і кольорових маткових сумішей.
В даний час інструмент для вимірювання товщини плівки розвинувся до високої точності та автоматизації та досяг дуже високого рівня. Його точність вимірювання становить від ±2% до ±5% виміряної товщини плівки для загального шару плівки та ±2 нм для тонкої плівки, і має функцію вимірювання мікроплощі, швидку швидкість вимірювання та високий ступінь автоматизації. Особливо з розвитком технологій і застосуванням точних інструментів, на додаток до вищезазначених методів технології виявлення, товщину плівки також можна виміряти ультразвуковим датчиком. Ультразвуковий датчик MaxBotix, рекомендований компанією Gongcai-MB7480, є високопродуктивним. Прецизійний ультразвуковий вимірювач відстані може забезпечити високу точність і високу роздільну здатність ультразвукового вимірювання відстані в повітрі.
